マイクロ機能デバイス研究センター

マイクロ機能デバイス研究センター

マイクロ機能デバイス研究センター

本センターは、超微細半導体素子や複雑な3次元構造を持つマイクロマシン等の研究開発を支援する共同研究施設です。実際にマイクロデバイスの試作と評価を行う装置類が稼働しています。空気中の浮遊ごみを減らすためのクリーンルームの中に微細加工を行うために必要な装置・設備(両面コンタクトアライナー、電子線描画装置、高密度プラズマエッチャー、ドクターブレード薄膜形成装置、プラズマCVD装置など)が導入されています。


主な利用専攻

  • 機械工学専攻
  • 精密機械工学専攻
  • 電気工学専攻
  • 電子工学専攻

PAGE TOP