日本大学理工学部

Step2

マイクロ・ナノワールドの観察・加工ツール:SEM、FIBについて

精密機械工学科

マイクロマシンという言葉を聞いたことがあるでしょうか。マイクロとはミクロンメートルのことで、千分の1[mm]という長さの単位です。このようなサイズの機械のことをマイクロマシンといいます。ここではマイクロマシンの開発に必要な観察装置である走査型電子顕微鏡(SEM:図1)と、加工装置の一つである収束イオンビーム装置(FIB:図2)について説明します。SEMは電子ビーム、FIBはイオンビームを用います。これらによりどのようにミクロの世界の観察(図3)や小さいものの加工(図4)ができるのでしょうか。また、これらを使ってどのようなマイクロマシンが作れるのでしょうか。これらが将来どのように使われるかについても考えてみます。

今井 郷充
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SEM(電子顕微鏡)図1
SEM(電子顕微鏡)FIB(収束イオンビーム装置)図2
FIB(収束イオンビーム装置)SEMによる観察(細胞)図3
SEMによる観察(細胞)FIBによる微細加工図4
FIBによる微細加工

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