マイクロ機能デバイス研究センター : 日本大学大学院理工学研究科

マイクロ機能デバイス研究センター

本センターは、超微細半導体素子や複雑な微細構造を有するマイクロマシンなどの研究を支援する共同研究施設です。空気中の塵を排除したクリーンルーム内に、微細加工に必要な装置・設備（両面アライナー、高密度プラズマエッチャー、各種薄膜形成装置、プラズマCVDなど）が導入されており、マイクロデバイスの試作や評価が可能です。

主な利用専攻

機械工学専攻
精密機械工学専攻
電気工学専攻
電子工学専攻

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