2017年 大学院理工学研究科 シラバス - 電子工学専攻
設置情報
| 科目名 | 電子物理計測・分析 | ||
|---|---|---|---|
| 設置学科 | 電子工学専攻 | 学年 | 1年 |
| 担当者 | 齋藤･喜々津 | 履修期 | 後期 |
| 単位 | 2 | 曜日時限 | 火曜5 |
| 校舎 | 駿河台 | 時間割CD | J25A |
| クラス | |||
概要
| 学修到達目標 | 電子工学に関わる物理的な計測と分析に関連する以下の項目を中心に講義、ディスカッションを行い、光学実験や電子デバイス評価等で必要となる計測・分析の原理から応用までを学ぶ。 |
|---|---|
| 授業形態及び 授業方法 |
講義形式。必要に応じて演習やディスカッションを行う。学生の現在の研究内容に即した質問を受け、その回答として授業を行う場合もある。パワーポイントと板書を併用し講義を行う(喜々津)。 |
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準備学習（予習・ 復習等）の内容・ 受講のための 予備知識 |
物理、光学、固体物理、電子物性についての知識があること。 |
授業計画
| 第1回 | 光の表式（１）：進行平面波、球面波、偏光因子、等 |
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| 第2回 | 光の表式（２）：光（球面波）のシュレーディンガー方程式を手計算で解いて、光の固有値を求めてみよう。 |
| 第3回 | フラウンホーファー近似積分 |
| 第4回 | 波面計測 Zernike1934年論文の紹介 |
| 第5回 | 波面計測 Zernike多項式 |
| 第6回 | 位相差顕微鏡 |
| 第7回 | 波面計測 最新の英文論文和訳演習 |
| 第8回 | 演習・討議 |
| 第9回 | 講義の流れの説明。ナノメートルサイズ・表面について。微細加工。真空について |
| 第10回 | 真空計。成膜装置とin-situ測定(RHEED/LEED/SMOKE)の原理と実際 |
| 第11回 | 表面分光測定(AES、XPS、SIMS)の原理と実際 |
| 第12回 | 表面分光測定(AES、XPS、SIMS)の原理と実際(続) |
| 第13回 | SPM(Scanning Probe Microscope)ファミリーの原理と実際 |
| 第14回 | SPM(Scanning Probe Microscope)ファミリーの原理と実際(続) 表面分析応用例の紹介。表面測定で陥りやすい問題、その他最新の評価法の紹介 |
| 第15回 | 各自の研究内容に即した評価・分析に対応した質疑応答。 演習・討議 |
その他
| 教科書 |
加藤範夫 『X線回折と構造評価』 現代人の物理６ 朝倉書店
Daniel Malacara監修 辻内順平訳 『光学実験・測定法 Ⅰ Ⅱ』 ｱﾄﾞｺﾑ･メディア 2010年
Eric P. Goodwin, James C. Wyent, Field Guide to Interferometric Optical Testing, SPIE Press, 2006
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| 参考資料コメント 及び 資料（技術論文等） |
John C. Vickerman, Surface Analysis -The Principal Techniques-Ed., John Wiley & Sons
F.Jenkins & H.White, Fundamentals of Optics, International Student Edition
大西、堀池、吉原 編 『固体表面分析I』 講談社サイエンティフィク ISBN 4-06-153364-9
大西、堀池、吉原 編 『固体表面分析II』 講談社サイエンティフィク ISBN 4-06-153366-5
志ある者は洋書にもチャレンジしてほしい。
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| 成績評価の方法 及び基準 |
演習や討議を通して到達度を評価する。やむを得ない理由による欠席も考慮する。活発な質問と討議を期待する |
| 質問への対応 | 質問事項はぜひ授業中に行ってもらいたい。授業中のアクティビティの高さがworld wideな研究者、プロの研究者の資質を磨きます。その場で答えられないときは必ず後日回答します。中川先生、塚本先生へ言づけてもらってもよい。(喜々津) |
| 研究室又は 連絡先 |
電子工学専攻中川研究室 |
| オフィスアワー | |
| 学生への メッセージ |
暗記や数式の導出などはありません。種々の分析法について、どういう原理で何が得意で何が欠点か、何に注意すべきか、を経験に即して講義します。講義の際に自分の研究に照らしあわせ考えて、質問・ディスカッションをお願いします。(喜々津) 「光（電磁波）とは何か」を数式によって理解することを行った後、光を利用し計測する手法を幾つか紹介し、計測データの分析の際の誤差の取り扱いについての論文を読みこなすことを行います。（齋藤） |