文部科学省学術フロンティア推進事業の支援を受けて2005年に設立されました。約200m2のクリーンルームの中には，シリコンウエハーに微細加工を施す最新鋭の大型装置が設置されています。半導体集積回路，3次元構造を持つマイクロ機械素子，マイクロロボットなどの研究開発が進められています。
主な利用学科
- 機械工学科
- 精密機械工学科
- 電気工学科
- 電子工学科
マイクロ機能デバイス研究センター
文部科学省学術フロンティア推進事業の支援を受けて2005年に設立されました。約200m2のクリーンルームの中には，シリコンウエハーに微細加工を施す最新鋭の大型装置が設置されています。半導体集積回路，3次元構造を持つマイクロ機械素子，マイクロロボットなどの研究開発が進められています。