日本大学理工学部
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マイクロ機能デバイス研究センター

文部科学省学術フロンティア推進事業の支援を受けて2005年に設立されました。約200m2のクリーンルームの中には、シリコンウエハーに微細加工を施す最新鋭の大型装置が設置されています。半導体集積回路、3次元構造を持つマイクロ機械素子、マイクロロボットなどの研究開発が進められています。

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主な利用学科

  • 機械工学科
  • 精密機械工学科
  • 電気工学科
  • 電子工学科