マイクロ機能デバイス研究センター
文部科学省学術フロンティア推進事業の支援を受けて2005年に設立されました。約200m2のクリーンルームの中には、シリコンウエハーに微細加工を施す最新鋭の大型装置が設置されています。半導体集積回路、3次元構造を持つマイクロ機械素子、マイクロロボットなどの研究開発が進められています。
主な利用学科
- ・機械工学科
- ・精密機械工学科
- ・電気工学科
- ・電子工学科
文部科学省学術フロンティア推進事業の支援を受けて2005年に設立されました。約200m2のクリーンルームの中には、シリコンウエハーに微細加工を施す最新鋭の大型装置が設置されています。半導体集積回路、3次元構造を持つマイクロ機械素子、マイクロロボットなどの研究開発が進められています。