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2025年09月30日
受賞
精密機械工学専攻博士後期課程3年LYU SHUXINさんが、2025マイクロエレクトロニクスショーにて、アカデミックプラザ賞を受賞しました。
精密機械工学専攻博士後期課程３年LYU SHUXINさんが、2025マイクロエレクトロニクスショーにて、アカデミックプラザ賞を受賞しました。
■発表題名
「MEMSマイクロロボットに実装可能なシリコンデバイスの開発」
LYU SHUXIN／佐藤 隼／祁 一銘／山下 莉史／冨永 雄大／村本 大和／齊藤 健
シリコンデバイスの作製には半導体作製技術を基本としたシリコン微細加工技術であるMicro Electro Mechanical Systems (MEMS)技術を使用しています。
おめでとうございます。