高感度MEMS水晶センサの加工シミュレーション
電子工学科
普段の生活の中で、身体の状態をみてくれたり、防災や防犯等々、我々の生活の安全性を高める道具は重要です。
検出したい内容により、必要とするセンサは、それこそ、千差万別です。
我々の生活をサポートする、正確で高機能なデバイスの一つとして水晶振動子が挙げられます。我々が研究を行っている水晶振動子を用いたQCMセンサー(QCM:Quartz Crystal Microbalance)は、数ナノグラム以下の微小質量を検出できることから生体の抗原抗体反応計測やにおいセンサーなどに使用されています。
本講義では身の回りにある水晶デバイスの紹介から水晶の歴史、最先端の水晶加工シミュレーションおよび、センサーとしての応用について紹介します。